中国台湾地区半导体设备企业华洋精机本月5日对外公告，其与蔡司公司合作，共同推出了针对光罩、先进封装及晶圆领域高精度测量需求的新产品COSMA-M。
该测量设备具备纳米级的测量精度，其稳定度参数达到3σ小于3纳米，能够满足先进制造工艺对高精度测量的严格要求，并且通过配合相应模块，能够实现全自动化的测量流程。
据IT之家了解，COSMA-M的适用范围涵盖了DUV掩膜、先进封装、TGV以及CPO等多个领域，目前已经获得部分潜在客户的送样验证测试。
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中国台湾地区半导体设备企业华洋精机本月5日对外公告，其与蔡司公司合作，共同推出了针对光罩、先进封装及晶圆领域高精度测量需求的新产品COSMA-M。
该测量设备具备纳米级的测量精度，其稳定度参数达到3σ小于3纳米，能够满足先进制造工艺对高精度测量的严格要求，并且通过配合相应模块，能够实现全自动化的测量流程。
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李明
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张伟
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王芳
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